本文以化学机械抛光技术和超声技术为背景，在国家自然科学基金项目（项目编号51075195）的资助下，针对流体振动抛光方法，研究流体在圆筒内的超声驱动及硅片抛光实验。流体振动抛光是利用振子超声振动所提供的能量，使圆筒内液体分子以及其中的微小颗粒在振动的驱使下冲击工件表面，从而达到去除材料提高工件表面质量的目的。本文设计并制作了一种圆筒形压电振子，提出了振子的双频驱动方法，并且对其进行了理论分析和实验验证。利用ANSYS有限元软件对振子进行动态仿真分析，系统研究了振子的弯曲振动模态。分析了影响振动模态和固有频率的因素，最终确定了振子的材料、几何尺寸、工作模态以及固有频率，并且对振子的性能进行了测试。对振子的共振频率、周向振幅和轴向振幅进行测试，验证了其工作振型，分析了液面高度、抛光液浓度等因素对谐振频率以及振幅的影响。设计了流体振动抛光系统，包括圆筒芯装置、反馈装置和散热装置。对液体的转速特性进行了实验研究，对比分析了两种弯曲模态下液体的转速，最终选取第十阶弯曲模态作为硅片抛光实验的工作模态。利用流体振动抛光方法，对不同表面形貌的硅片进行了抛光实验。实验结果表明，该方法确实可以使硅片表面平整度得到改善，而且更加适用于对已经具有较高表面平整度的抛光片进行二次抛光。