论文部分内容阅读
微机电系统(micro electro mechanical systems, MEMS)是指基于集成电路工艺设计制造并集电子元件与机械器件于一体的微小系统。微混合器作为MEMS的重要组成部件,目前已越来越受到重视,对微尺度流动和液体混合的研究也变得越发重要。物理体系的研究方法可以分为理论研究,实验研究和数值模拟三大类,随着计算机技术的快速发展,数值模拟技术得到了越来越多的重视以及更广泛的应用。格子Boltzmann方法(LBM)作为一种全新的介观模拟方法在近20年得到了快速的发展。LBM既可以分析