随着光通信的迅猛发展,以构建全光网为目标的集成光学器件成为目前研究的热点。在集成光路中,由于介质光波导传输损耗小,制作成本低廉,体积小且易于与其他光电元件集成,所以在光通信、光传感器及其他需要对光信号进行处理和控制的领域中,介质光波导都极具应用前景。在作为集成光路的基础器件的介质光波导中,条形光波导具有与单模光纤相似的结构特征和传输特性,与其他波导相比,更容易与光纤匹配且耦合损耗低。 鉴于介质光波导的重要性和具有的实用及商用价值,我们实验室继成功制备平面光波导后,着重开始研究条形光波导的制备工艺,这对我们以后开展光分路器以及光波导放大器的研究工作也有着重要意义。 论文主要分为五部分来介绍: 第一部分对集成光学发展现状以及介质光波导(特别是条形介质波导)的概况和研究状况作了简要的介绍。 第二部分介绍了介质光波导的相关知识,包括波导结构和分类、折射率分布特点、各种制备工艺以及典型材料与制作技术等等。 第三部分介绍了处理条形介质光波导的基本理论。 第四部分主要讲述条形介质光波导制备实验及测试。 第五部分作出总结与展望。