钛酸锶钡(Ba1-xSrxTiO3)薄膜的制备及介电和挠曲电性能研究

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【摘要】

：

钛酸锶钡(BST)是一种常见的铁电材料,它具有优良的介电性、铁电性、压电性和挠曲电性,因此被广泛的应用于传感器等领域中。近年来,电子元器件朝着微型化、轻量化发展,因此对钛酸锶钡薄膜材料的研究具有十分重要的意义。本文采用溶胶-凝胶法制备钛酸锶钡薄膜,并且用同样的方法制备了具有并联结构的多层复合的钛酸锶钡/二氧化锆(BST/ZrO_2)薄膜和钛酸锶钡/氧化镁(BST/MgO)薄膜,解决了单层BST薄膜

【作者】

：

姜楠

【机构】

：

江苏大学

【发表日期】

：

2017年04期

【关键词】

：

溶胶-凝胶法 BST薄膜 BST/ZrO2复合薄膜 BST/MgO复合薄膜介电性能挠曲电性能

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