本论文以CM高精度中心偏测量仪的结构分析为切入点，探讨了机械精度对中心偏测量精度的影响问题。　　 首先介绍了中心偏的测量原理，以及利用这一原理而在实践测量中通常运用的两种中心偏测量方法，并对两种方法的特点、使用范围、优劣进行了对比分析。其次对影响测量系统测量精度的误差因素分别进行了分析，明确了该测量系统提高测量精度的主要途径和方法。介绍了目前高精度中心偏测量仪所采用的工作原理，对影响中心偏测量精度的仪器关键结构，特别是中心偏测量仪的轴系结构，从机械轴结构和气浮轴承结构两方面入手，分析了影响轴系精度的相关要素。介绍了以标准球为陪衬，“翻转”测量高精度轴系回转精度的检测方法，并利用此方法对CM高精度中心偏测量仪的轴系精度进行了测量。重点分析和研究了轴系回转精度对中心偏测量精度的影响，设计了科学的实验方法，通过实验数据处理与分析，发现静止测量时，气浮轴系晃动对测量精度造成的影响极大，尤其是系统偏心数值较小时，轴系晃动对测量精度的影响更大，提出了气浮主轴高的回转精度是消除了高频误差分量的误差均化的综合表现，这种误差均化的效果在静止状态下表现并不明显，利用现在的静止对径测量方法，在回转精度极高的中心偏测量仪上不一定能取得高的中心偏测量精度，并提出了采用CCD动态测量读数的方法来提高中心偏测量精度的观点。