【摘 要】
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该文分为两个部分:第一部分报道了大规模集成电路技术在二元光学领域的开展.先在理论上设计了一种光学分束器-正交位相型Ronchi光栅,对其衍射结果结果进行了计算,讨论了其衍
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该文分为两个部分:第一部分报道了大规模集成电路技术在二元光学领域的开展.先在理论上设计了一种光学分束器-正交位相型Ronchi光栅,对其衍射结果结果进行了计算,讨论了其衍射效率,说明了它作为分束器的可行性,指出了它应用于晶体太空生长的观测系统的实用性.第二部分报道了大规模集成电路技术在真空微电子学中的开展.先在理论上讨论了场致电子发射的概念,介绍了一种新的真空微电子器件-场致电子发射阵列,叙述了它在微波放大和平面显示器的应用前景,并介绍了它的研究进展.接着讨论了采用反应离子刻蚀方法制作场致电子发射阵列的工艺技术.
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