论文部分内容阅读
紫外激光精密切割技术已经在微电子、激光加工、精密材料加工等领域取得了广泛的应用。水辅助紫外激光精密切割技术是一种新型的复合加工技术。通过将水参与到紫外激光的精密切割加工中,可以有效地改善切割质量。本文从水辅助激光技术的几个主要方面入手,进行了针对性的实验研究:
针对传统的紫外激光切割铜材料时产生的热影响区比较大、熔渣比较多的问题,提出了一种全新的水膜层辅助紫外激光切割方法,并使用此方法制备出实物样品,获得的切割缝宽为45μm,热影响区小于50μm,基本上没有熔渣。实践证明,与传统加工方法相比,水膜层辅助紫外激光切割铜箔片,具有加工精度高、热影响区小、加工效率高等优点,适合于各种高精度微细薄片器件的研制。
开展了紫外激光水导切割研究,搭建了紫外激光旁轴水导系统和紫外激光同轴水导系统的实验装置,自行设计了应用于紫外激光同轴水导系统的关键部件——耦合喷嘴,成功地使用紫外激光同轴水导系统在金属材料上实现切割。结果证明:与传统的干式激光相比,水导激光具有减小热影响区和降低微粒污染等优点。
与解放军总医院304临床部全军烧伤研究所合作,开展了使用紫外激光切割猪脱细胞真皮基质制备(PADM)医用真皮替代物的研究。应用激光切割技术对PADM进行加工,制备出一种新型激光微孔PADM。研究结果表明:采用紫外激光制备微孔PADM的方法,有助于减小热损伤、提高加工精度,可以获得网孔孔径大小可调、排列整齐致密、真皮基质分布均匀的切割质量,较传统的方法具有不可比拟的优越性。此种紫外激光制备微孔PADM的方法,有望替代传统的PADM制备方法,成为制备临床应用真皮替代物的新选择。