【摘 要】
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压电陶瓷管扫描器的非线性特征是造成扫描探针显微镜扫描图像畸变的上要原因，因此本课题开展压电陶瓷管扫描器非线性校正的研究工作。 本课题从现有实验设备出发，提出一种开环校正方案，即利用迈克尔逊干涉仪测定PZT的伸长量与控制电压之间的相互关系，得到非线性曲线；根据非线性曲线确定拟合函数；通过拟合函数的反函数得到获得线性位移的电压控制数据；根据电压控制数据设计扫描校正软件，使XY扫描管工作在线性方式
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压电陶瓷管扫描器的非线性特征是造成扫描探针显微镜扫描图像畸变的上要原因，因此本课题开展压电陶瓷管扫描器非线性校正的研究工作。 本课题从现有实验设备出发，提出一种开环校正方案，即利用迈克尔逊干涉仪测定PZT的伸长量与控制电压之间的相互关系，得到非线性曲线；根据非线性曲线确定拟合函数；通过拟合函数的反函数得到获得线性位移的电压控制数据；根据电压控制数据设计扫描校正软件，使XY扫描管工作在线性方式，据此有效消除由压电陶瓷管的非线性而引起的扫描图像畸变。
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