随着科学技术的发展,高精度的微尺度产品在许多的领域,包括航空航天,国防,生物,MEMS等,有着越来越大的需求。从产品发展来看,微型化的产品具有质量和尺寸小、能量消耗低、消耗资源少,美观精巧便于使用等优点。因此微型化也是产品发展的一个重要方向。在微尺度机械加工领域中,微铣削的发展很快,但是由于微机械加工一般在晶粒内部进行,其所具有的尺寸效应,微小刀具的微观形状误差,刀具磨损与工件材料的粘连,工件多晶材料金属各向异性等一系列特点,使得微铣削加工后工件的表面质量相对较差。考虑到传统加工中磨削加工后工件的表面质量比较高,近些年来越来越多的微机械研究倾向于对微磨削加工的探讨。由此产生了微尺度磨削加工工艺。本文对微尺度磨削加工进行开拓性、探索性的研究,主要着眼于电镀金刚石微小磨具制备工艺、聚焦合成的磨粒表面形貌检测方法等方面开展研究。首先本课题对微尺度磨棒的几种制备工艺进行深入的探讨分析,并对比不同制备方法的优缺点。在此基础上,具体研究了电镀微磨棒的制备工艺,主要包括镀前处理、上沙、加厚处理等几个流程。此外,本课题设计实验制作了不同粒度的电镀金刚石磨棒,得出了第一手资料,并对磨棒的形貌进行了对比分析。本课题的另外一个研究重点是磨棒表面的检测方法。目前磨粒信息作为评估接触表面摩擦学行为的主要依据。在现阶段的检测方法中,一方面,显微镜上采集的二维图像存在严重的光学畸变现象,直接从磨粒的二维图像中无法准确获取磨粒表面的三维形貌信息,分析表面纹理误差很大；另一方面,原子力显微镜等高科技仪器设备在研究磨粒的三维测量方面存在价格昂贵、适应性差、图像匹配计算困难等问题。这些因素,限制了上述方法在诊断工程上的推广应用。作者通过一套独特方案设计,即采用基于立体视觉的三维图像重构技术,在普通光学显微镜上初步实现了磨粒信息的三维测量。最后,总结论文的主要结论和课题研究中出现的不足,提出未来的研究方向。