随着半导体工业的飞速发展，集成电路芯片种类越来越多，精度要求越来越高，晶圆尺寸也越来越大，对划片机控制软件要求也越来越高，需要控制软件做到界面友好，操作简单，灵活性强，兼容性高，同时还需要具备自动识别对准功能。 本文以全自动划片机的控制软件的设计为目标，文中确定了控制软件的整体设计方案以及模块化的设计思想，并采用面向对象的编程技术完成控制软件的设计。主要包括以下几个内容的研究： 分析划片机控制软件的实际需求，确定整体软件设计基于WIN2000操作系统，并采用模块化的设计思想，分布式的控制理念，提高控制软件的硬件无关性。 基于面向对象的数据结构化设计以及采用类模板编程方法实现切割数据灵活的工艺适应能力，能够满足目前几乎所有复杂加工工艺的需求。 采用分布式控制方法提高运动控制效率，采用光栅尺闭环控制的方法提高运动轴定位精度，采用比例+前馈增益的方法消除了机械系统的位置响应滞后的问题，提高了系统运动的响应速度及定位精度。 通过对划片机加工晶圆图像的分析，确定了图像的预处理方案，并在基于灰度的模板匹配算法的基础上，利用序贯相似度检测算法提高匹配效率，并结合运动控制模块，最终实现划片机的自动识别对准过程。 本文研究开发的控制软件已经应用在全自动划片机上，该样机已经投入生产应用。全自动划片机控制软件的研究与开发对同类型设备的控制软件的开发具有很好的参考价值。