氮化硅粉喷涂工艺对多晶硅铸锭粘埚及边部红区宽度的影响

来源 :南昌大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：shuishui06

【摘要】

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【作者】

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陈欣文

【出处】

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南昌大学

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

：

氮化硅红区粘埚

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