微机械电子系统(MEMS)的研究深受关注。射频MEMS器件由于其尺寸小、重量轻、低损耗等优点而倍受重视,并且已经进入小批量商业生产阶段。本文介绍了MEMS技术的基本知识。重点研究了MEMS开关及其组件MEMS移相器。RF MEMS开关方面,理论分析了电容式MEMS开关和接触式MEMS开关的工作状态、电磁特性,并仿真实现。在此基础上,分析了开关的结构参数改变对散射参量的影响。并且提出了等效电感的计算方法,低谐振频率电容式MEMS开关和宽频段电容式MEMS开关的设计方法。RF MEMS移相器方面,理论分析了分布式MEMS移相器和开关线型MEMS移相器的电磁特性和相移量,并仿真实现。抓住分布式MEMS移相器下状态时金属桥膜状态和MEMS开关的不同点,改变原本只起隔离作用的介质层。从而增加了下、上状态电容比,增加了相移,减少了激励电压,延长了移相器的工作寿命。此外,归纳总结了开关线型MEMS移相器在高频段范围设计时的注意点。本文理论、设计合理,分析方法正确,提出的仿真和验证方案可行。并对MEMS开关、移相器的下一步研究提出了建议。