NbN薄膜的制备及等离子体诊断

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【摘要】

：

为了解决核材料铀的腐蚀磨损导致的失效问题，本论文首先用朗缪尔探针对新颖的双谐振腔微波ECR多功能等离子体源离子注入(PSII)系统进行了等离子体诊断，然后根据诊断结果，以45#钢作为替代品，在其表面上以及硅片(100)上采用微波ECR等离子体增强直流反应非平衡磁控溅射的方法制备了氮化铌(NbN)薄膜，同时用发射探针(OES)对实验条件下空间的等离子体成分进行了诊断，最后采用X射线衍射(XRD)、透

【作者】

：

王金刚

【机构】

：

大连理工大学

【发表日期】

：

2004年06期

【关键词】

：

氮化铌薄膜朗缪尔探针发射光谱偏压

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