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随着集成电路的不断发展,越来越多的混合信号电路和模拟集成电路采用数字辅助单元来完成电路的设计,如在模数转换器中采用数字校准模块,更有些将电路的大部分功能数字化,如全数字锁相环。数字集成电路对时间域的信号具有良好的处理能力,时间数字转换器(TDC)作为模拟连续时间信号与数字离散信号之间的桥梁,也开始被用来构建一些模拟集成电路。此外,在高能物理和粒子物理领域中,TDC是高精度时间间隔测量系统的核心单元。因此,TDC的研究对于集成电路设计和高精度测量都有重要意义。本论文主要研究高速高精度时间数字转换器,基于TSMC 0.18μm CMOS工艺,采用全定制和半定制相结合的方法,完成电路的设计与实现。为了实现低于门延时的精度,在比较各种高精度TDC结构以及它们的优缺点之后,选择以游标型TDC为原型,整个电路由三部分构成:双通道游标延时线电路以及读出电路和编码电路。其中,游标延时线电路采用全定制方法设计,主要实现延时单元延时值的精确控制;读出电路和编码电路采用半定制方法设计,前者主要完成温度计码的暂存和对齐,后者则采用流水线结构以保证500MHz的转换速度。这种数模混合设计方法在保证电路性能的同时,也降低了电路的设计难度。为了方便芯片测试,在芯片中还设计了内嵌激励信号模块,该模块通过全定制方法设计,能够产生若干组均匀分布在整个动态范围之中的时间间隔。所设计的TDC芯片已完成了后仿真、流片和测试,整体版图面积为1.25×0.675mm2。测试结果表明,该TDC芯片能够满足设计指标,在500MHz方波信号和1.8V电源电压下总的电流为66.2mA。基于测试结果,论文还进一步研究分析了提高游标型TDC性能的方法,并采用减小单级延时线长度的方法设计了基于层次结构的高性能TDC,该TDC由第一级延时单元和第二级高精度TDC构成,其中高精度TDC包含四路16级游标延迟线电路。该TDC整体版图面积为0.735×0.92mm2,后仿真结果表明,高性能TDC性能达到指标要求,且面积和功耗有一定程度的改进。