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声表面波传感器由于具有易小型化、抗辐射能力强、可靠性高等优点,从而被广泛研究并应用于温度传感、压力传感、气体传感等领域。在高温的恶劣环境中,声表面波传感器要能正常工作,就要求制作高温声表面波器件所需要的压电材料具有高的温度稳定性和化学稳定性。硅酸镓镧(La3Ga5SiO14,LGS)是一种新型的性能优异的压电材料,其机电耦合系数是石英的2~3倍,同时还具有良好的温度稳定性和化学稳定性,从室温到熔点(1470℃)之间无相变。而随着器件小型化、集成化的发展,需要将压电材料薄膜化。因此,本文开展溶胶凝胶法