微细电火花加工技术是微三维结构加工中一个非常重要的手段,备受国内外学者重视。微细电火花加工中存在的电极损耗增加了高精度微三维结构加工的难度,本文针对电极损耗展开了补偿方法的研究。首先对电火花铣削加工中的底面轮廓模型进行了研究,给出了底面轮廓的轨迹公式;探讨了在定长补偿过程中旋转电极端面随着加工的进行,逐步变成圆锥形的过程与原因,并通过实验验证了电极能够该形态下稳定加工的特性;研究了影响电极端面角度的因素。然后建立了基于圆锥形电极端面的电火花铣削加工定长补偿数学模型,推导出模型下的补偿算法公式;对该补偿算法下影响其加工效果的相关参数,进行了仿真与实验研究及实验数据分析,提出了精确测量体积相对损耗比的一种方法;针对圆锥形电极端面加工后的锯齿状残切,提出了类圆锥形电极端面的定长补偿算法,并进行了实验研究与分析;这一步加工后大部分材料得到去除,但仍剩有少量残切,采用定长补偿方法与等损耗补偿结合的方式修整底面去除残切;铣削加工了方形型腔验证整个加工效果。实验结果与理论预测基本吻合。最后进行了微细电极在线制备及微细加工条件下的补偿实验,验证了分层铣削定长补偿加工方法的有效性。