近年来,随着市场需求的导向和微细加工技术的发展,光谱仪呈现出微型化趋势。本论文研究了一种工作于可见-近红外波段的新型空间调制微型傅里叶变换光谱仪,其分光干涉系统采用基本的迈克尔逊干涉仪结构,但将两臂的平面反射镜用两个多级微反射镜代替。两个多级微反射镜的不同反射面间存在不同的光程差,此结构免除了动镜扫描系统,使光谱仪的调制方式由时间调制改为空间调制。该光谱仪中无可动部件,使系统具备结构紧凑、稳定性好、实时性高等优点。本论文在原结构设计的基础上,采用ASAP、Matlab等专业模拟软件进行了工作过程模拟,并据此优化了系统结构。模拟分析了衍射效应对复原光谱的影响,并据此优化了分束器的尺寸和系统的装调结构。采用Matlab等模拟软件模拟分析了多级微反射镜反射面粗糙度对复原光谱的影响,据此确定了多级微反射镜表面粗糙度的最大容忍值,为多级微反射镜的研究制作提供了参考数据。研究了多级微反射镜的衍射效应对干涉图光强分布的影响,分析了多级微反射镜边界突变引起的噪声,提出了消除边界突变噪声的方法并通过模拟证明了该方法的可靠性。根据结构设计提出了两种多级微反射镜的制作方法：硅的各向异性腐蚀方法和定位生长多层膜方法,针对各种方法设计了实验方案并进行了试验,分别选用硅的各向异性腐蚀方法和定位生长多层膜方法制作出多级微反射镜。