介质阻挡微放电中氮等离子体分子束质谱及发射光谱的诊断研究

来源 :大连理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gengyuefeng009
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本文利用分子束质谱技术和发射光谱技术对介质阻挡微放电氮等离子体中N+/N2+进行了实验检测,对氮分子振动温度及其时间分辨特点进行了诊断研究,取得结果如下:1.利用介质阻挡微放电等离子体产生技术和分子束质谱(MBMS)检测技术相结合,在气体压力50-220 Torr范围内检测纯氮介质阻挡微放电丝中的离子成分。在所研究的试验条件下粒子流中的主要离子成分是N2+、N+,并研究了放电气压、放电电压、放电重复频率分别对氮等离子体中N+与N2+活性物种离子流强度的影响。结果显示N+与N2+浓度随放电电压、放电频率的增大而增大,N+、N2+的相对浓度几乎不变;随N2压力变化出现一个极值,随气压增加,N+、N2+的浓度比也不断增加,并对其产生、检测和形成机制进行了研究。2.使用针-板式电极装置,利用发射光谱诊断技术,首次在大气压氮气介质阻挡微放电中,通过对氮分子第二正带系(C3Πu→B3Πg)发射光谱的时间分辨谱线进行分析,根据振动带序发射光谱强度计算得出N2(C,v)振动温度的时间分辨特性,并研究了压强及放电电压对氮分子(C3Πu)的振动温度时间分辨的影响。实验结果表明:氮分子振动温度的范围为2000-3500 K,在每个放电周期内都呈减小趋势,且正负半周期振动温度差较大。振动温度随电压升高而升高,随压强的升高而降低。
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