本文采用单靶倒筒式直流溅射技术，结合辐射式加热装置，设计了一种全新的二维旋转方式，实现了在直径2英寸LaAlO₃（100）单晶基片两面同时溅射沉积薄膜，成功的制备出了低微波表面电阻（Rs）、双面一致性好的双面YBa₂Cu₃O_7-6（YBCO）高温超导（HTSC）外延薄膜，其Tc₀＞90K，△Tc＜1K，Rs（77K，10GHz）＜1mΩ，可以满足无源微波器件的应用要求。 首先，我们通过对辐射式加热炉进行合理设计，基片在辐射式加热器中连续翻转，使得基片两面同时沉积薄膜，两面膜均匀一致。通过大量的优化工艺实验，确定了适合制备C轴取向外延薄膜的最佳工艺条件为：Ts=805℃，P_total=35Pa，d=55mm，P₀₂:PAr=1:2，在650～700℃下进行保温处理并缓慢降温。逐步放大基片尺寸到2英寸，最终在直径2英寸的LaAlO₃（100）双抛单晶基片上制备出高质量的c轴取向外延薄膜，薄膜两面性能达到Tc₀=89～92K，△Tc=0.2～0.4K，两面薄膜的Rs分布为：90％的测试点的Rs分别小于36.5mΩ和49mΩ（144.8GHz，77K）或0.17mΩ和0.23mΩ（10GHz，77K），是目前有关文献报道的最好结果之一。 论文工作的后期，对一种二维结构的高温超导谐振器--DiskResonator进行了初步研制。针对腐蚀和去胶两个环节，对超导薄膜光刻工艺进行了优化。制作出了原型器件，测试其性能参数，并从理论上对谐振器的电磁场分布和特性参数进行了分析，对谐振频率f₀和品质因子（?）进行了详细讨论，分析了影响其特性参数的诸多因素，提出了进一步的改进措施。为进一步通过微波谐振器研究YBCO高温超导薄膜的功率负载特性和非线形效应打下了一定的基础。