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近年来,紫外探测技术在军民两方面的应用都得到了广泛的发展。固体探测器的材料具有较大的禁带宽度,而且可以有选择性地工作在紫外波段,因此成为了紫外探测器发展的方向。铁电材料因其优良的铁电、压电、介电、热释电、声光以及非线性光学特性,而被广泛地应用于微电子和光电子等领域。铁电材料具有自发极化的能力,并进一步诱导产生退极化场。此外铁电薄膜的体光伏效应在特定波长的光照下能够产生较大的输出电压,这种优良的光电特性使得铁电材料在紫外-红外探测方面具有广泛的应用前景。由于Si衬底对于紫外-可见光波段范围内的光有吸收作用,因此我们选择了K9玻璃作为实验的衬底材料。但是在非晶体上很难生长出性能良好的陶瓷晶体材料,因此首先我们研究了K9玻璃衬底上制备LNO薄膜的工艺。通过磁控溅射技术和后退火方法在K9玻璃上成功生长出了性能良好的LNO薄膜。目前铁电薄膜的生长一般是在高温下进行的,而K9玻璃不能长时间的承受高温。本文的另一主要工作就是利用磁控溅射技术在较低的温度下制作出性能良好的探测器样品。研究的主要结论有：(1)在K9玻璃衬底上生长LaNiO3(LNO)薄膜分别作为缓冲层和底电极,通过XRD测试发现在室温下生长的LNO薄膜经500℃、30min后退火处理后具有(110)高择优取向；通过紫外-可见分光光度计测试及计算发现LNO薄膜经过后退火处理后对于不同波段光的吸收具有明显的选择性；通过对电阻率的测量发现后退火处理使得LNO薄膜的电阻率有了明显的减小。(2)在制备好的LNO(110)衬底上,溅射生长PZT薄膜,通过分析对比不同溅射工艺对于样品的影响,最后在衬底温度550℃、溅射功率93W、溅射时间3h、溅射气压1.9Pa的工艺条件下制备了铁电性能较好的钙钛矿相PZT铁电薄膜；通过U-4100紫外-可见分光光度计测试、计算分析发现,样品在300nm波长处的吸收率达到了80%；TD-88A铁电测试系统测试发现,在5V的测试电压下PZT薄膜的剩余极化为31.3μC/cm2；样品在功率为50W的卤素灯照射下,通过Keithley6514静电计测量得到开路电压为0.76V、短路电流为19.40pA。