【摘 要】
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近年来大数据、物联网、人工智能的迅速崛起对数据存储提出了更高的要求,但传统非挥发型存储器如Flash的发展在半导体工艺节点达到22nm时遇到了阻碍,因此学术界和工业界都开始进行新一代存储器的研究。作为新型非挥发型存储器的一员,阻变存储器RRAM因其具有高可靠、转变速度快、单元特征尺寸小、便于三维集成等优势逐渐成为研究的热点。本文工作围绕64Mb RRAM项目展开,对RRAM的阻变机理、存储单元结构
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