【摘 要】
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纳米技术是在纳米尺度下进行测试、计量和加工的新技术.单管式压电陶瓷扫描器(PZT Tube Scanner)是扫描探针显微镜的关键部件,它的运动准确性和稳定性直接影响扫描探针显微镜
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纳米技术是在纳米尺度下进行测试、计量和加工的新技术.单管式压电陶瓷扫描器(PZT Tube Scanner)是扫描探针显微镜的关键部件,它的运动准确性和稳定性直接影响扫描探针显微镜的计量特性.该论文将激光干涉系统同扫描探针显微镜系统相结合,建立了二维高精度SPM用标定系统,对单管式电陶瓷扫描器在全量程内的二维运动特性进行标定,并且将标定结果同传统的栅格标定方法进行比较,得到了较好的一致性.
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