本论文回顾了准分子激光的发展历史,介绍了准分子激光的基本原理、特性、应用以及高重复率准分子激光的现状和关键技术。　　 为使国产高重复率器件赶上国际先进水平,本论文通过搭建1000Hz重复率运转193nm ArF准分子激光器试验平台,对高重复率准分子激光器的下列关键技术和关键部分进行设计和实验研究:　　 (1)设计了全固态脉冲激励电源。电源输出峰值电压14kV以上,脉冲上升沿小于100ns,1000Hz运行稳定;　　 (2)设计了电晕预电离和均匀电场电极。实现了均匀稳定放电。　　 (3)设计了金属-陶瓷结构的放电腔和高风速气体循环系统。金属-陶瓷腔结构可提高气体寿命;高风速气体循环系统风速可满足2800Hz重复率运行。　　 (4)进行了高重复率准分子激光实验。用全固态脉冲激励电源驱动激光腔,在国内首次获得700Hz重复率有效运行,193nm激光输出功率3.95W。