【摘 要】
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气体静压轴承精度高、热稳定性好且无污染,在超精密装备中得到了广泛的应用。随着超精密技术的快速发展,气体静压轴承需要具备更高的性能,因此对气体静压轴承结构进行优化设计、探索可行的加工工艺尤为紧迫。本文应用有限差分法对气体静压轴承进行静态性能分析及优化设计,并根据分析结果研制了基于先进光学制造的气体静压导轨和基于超精密切削的气体静压转台。论文的主要研究工作包括:1.基于有限差分法,推导气体静压润滑模型
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气体静压轴承精度高、热稳定性好且无污染,在超精密装备中得到了广泛的应用。随着超精密技术的快速发展,气体静压轴承需要具备更高的性能,因此对气体静压轴承结构进行优化设计、探索可行的加工工艺尤为紧迫。本文应用有限差分法对气体静压轴承进行静态性能分析及优化设计,并根据分析结果研制了基于先进光学制造的气体静压导轨和基于超精密切削的气体静压转台。论文的主要研究工作包括:1.基于有限差分法,推导气体静压润滑模型的求解方法,结合流量误差反馈法求解气膜流场的压力分布和轴承的静态特性;研究单小孔止推轴承、复合节流止推轴
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