【摘 要】
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该文在菲涅尔波带板和加伯波带板基础上,通过精缩、光刻、反应离子刻蚀等一套工艺过程制作了不同参数的衍射微透镜阵列.并用制作的微透镜阵列产生了多重像.该文用制作的微透
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该文在菲涅尔波带板和加伯波带板基础上,通过精缩、光刻、反应离子刻蚀等一套工艺过程制作了不同参数的衍射微透镜阵列.并用制作的微透镜阵列产生了多重像.该文用制作的微透镜阵列和平面CCD接收系统组成了波面测量系统,设计程序从焦面信息中提取测量数据,并对测量结果做最小二乘拟合恢复波面.文中给出了对假想输入波面的拟合结果.
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