纳米材料科学是新兴起来的一门学科，至今已有三十年的历史。SiO₂纳米材料是新型纳米材料，其特有的性质，如：小体积效应、量子尺寸效应、表面效应、宏观量子隧道效应等，使其不仅具有普通二氧化硅的性质，而且具备纳米粒子所特有的性质，在橡胶、塑料、纤维、涂料、光化学和生物医学等领域都具有广泛的应用前景[1]。本文从内容上主要分为两个部分，第一部分是在不同实验条件下制备SiO₂纳米线，包括不同的Si源（Si粉,SiO粉）及生长条件（退火时间、温度及衬底）。实验分为两种模式，溅射组和非溅射组。通过实验探索，初步获得制备SiO₂纳米线的可行性方案。第二部分，是在第一部分的基础上，对可行性方案进行改进。实验主要分为两部分：磁控溅射过程和退火过程。对于探索实验阶段的非溅射组，清洗处理好的衬底直接进入退火过程。实验后的样品做了相关的形貌测试、成分测试和发光测试。具体内容如下：1、研究不同Si源情况下SiO₂纳米线的生长情况。实验研究的是溅射组，溅射Au时间6s，膜的厚度约为18nm。然后对溅射好的样品进行退火，实验粉末分别为SiO粉和Si粉。温度1100℃下退火60min。并用扫描电子显微镜对两种实验情况下样品的形貌进行测试。2、研究不同生长条件下的SiO₂纳米线生长情况，包括不同的退火时间、温度及不同的衬底。首先研究的是溅射组在不同退火温度下SiO₂纳米线的生长情况，溅射好的样品分别在温度950℃、1000℃、1050℃和1100℃下进行退火；其次研究的是不同退火时间下SiO₂纳米线的生长情况，溅射好的样品分别退火60min、80min、100min和120min；最后研究的是非溅射组在不同衬底条件下SiO₂纳米线的生长情况，衬底分别为Si（111）毛片和Si（111）抛光片。处理好的样品直接进入退火过程。实验粉末为Si粉，温度1100℃下退火100min。3、在上述探索实验的基础上，对制备SiO₂纳米线的可行性方案做进一步的改进。本组实验研究的均为溅射组。首先，研究不同溅射时间下的，溅射Au的时间分别为6s和12s，退火过程加入Si粉和碳粉的混合粉末，温度1100℃下退火80min，得出不同尺寸的长直的纳米线结构。其次，研究的是实验粉末加入碳粉和未加入碳粉的情况下SiO₂纳米线生长情况。样品溅射Au的时间为12s，退火过程加入粉末分别为Si粉、Si粉和碳粉的混合粉末，温度1100℃下退火90min，分别得到花型和灯笼状纳米结构。第三研究的加入碳粉的溅射组在不同退火时间下的SiO₂纳米线生长情况。溅射Au的时间12s，温度1100℃下退火时间分别为90min和100min，得出不同形貌的灯笼状纳米结构。4、对改进实验后的样品进行扫描电子显微镜（SEM）、傅里叶红外吸收（FTIR）、X射线衍射（XRD）和X射线光电子能谱（XPS）和光致发光（PL）分析.