本文主要研究了基于传输线原理的微波共振探针对大气压射频辉光射流进行诊断，并分析了探针诊断中的干扰问题，找到如何消除干扰的方法；在此基础上，使用优化后的微波共振探针，测量不同功率条件下的电子密度。　　首先，对于微波共振探针的干扰问题，主要通过实验与仿真两个部分讲述，在实际的实验操作过程中，观测到当探针靠近放电器的时候，会受到放电器明显的干扰。从而在仿真实验中，建立简单的物理模型，进行探针干扰问题的仿真模拟并试图找到消除干扰的方法。然后在实验操作中，添加不同的屏蔽材料，找到效果最佳的屏蔽材料，故后面实验中均采用该种屏蔽方法来进行实际测量与诊断。　　使用微波共振探针在大气压射频辉光射流中的诊断中，分别从放电功率对大气压射频辉光射流影响的研究；工作气体流量对大气压射频辉光射流影响的研究和大气压射频辉光射流的发射光谱研究方面展开实验研究。（1）在研究不同放电功率对大气压射频辉光射流的影响的结果可以看到，随着放电功率的增加，反射系数的Q值越小，反射共振谱的半高宽会变宽。（2）在研究氦气流量的改变对大气压射频辉光射流的影响的实验中，减小氦气的流量会使得反射共振谱的Q值变大;而当改变混合氧气的量来研究对大气压射频辉光射流的影响的实验中得到，当氧气的量由0增加到40 sccm时，反射系数的Q值会减小。（3）对于大气压射频辉光射流发射光谱的分析中，利用近似沙哈-波尔兹曼分布法求得氦等离子体射流在不同功率下的电子温度，进而根据已有的理论公式推导出了近似的电子密度是1016m-3，并进行了合理性的分析。