【摘 要】
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本论文的主要研究工作是纳米TiO2薄膜的制备及其金属-半导体-金属(MSM)结构的光伏型紫外探测器的研制。首先,我们详细介绍了TiO2的晶体结构和制作方法。然后讨论了紫外探测器
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本论文的主要研究工作是纳米TiO2薄膜的制备及其金属-半导体-金属(MSM)结构的光伏型紫外探测器的研制。首先,我们详细介绍了TiO2的晶体结构和制作方法。然后讨论了紫外探测器的分类,对半导体探测器特别是光导型探测器工作原理及主要参数做了深入的分析和讨论。接下来我们利用溶胶-凝胶法制备了纳米晶TiO2薄膜材料,通过XRD和紫外吸收谱等表征手段对薄膜材料的性质进行研究,证明所制备的材料适合制成紫外探测器。接着,利用射频磁控溅射法在TiO2薄膜上溅射金属Au形成肖特基接触,采用标准光刻技术形成叉指状电极。对TiO2基紫外探测器的P-V特性作了测试,随着光强增大,器件产生的光电流增大,负载电阻上的电压也随之增大。利用这个特性,并使用MATLAB软件拟合出P-V曲线方程,可以通过测量负载电阻上的电压变化来间接测量入射的紫外光的强度。
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