基于阻抗变化的高灵敏度微质量传感器的机电耦合分析与设计

来源 :大连理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tshanyf

【摘要】

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【作者】

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张淑敏

【出处】

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大连理工大学

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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压电传感器阻抗灵敏度机电耦合

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