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应用于大功率、高能量激光系统中的薄膜元件是整个光学系统中重要而又易损的薄弱环节,光学薄膜一旦遭到激光损伤,不但会使成像质量降低,严重时还会导致整个光学系统无法工作。然而,目前薄膜的激光损伤阈值(laser-induced damage threshold,LIDT)仍缺乏有效的检测手段和方法,对薄膜激光损伤评判及损伤阂值测试仪的研究显得非常重要。本文基于以上背景,为了满足多波长共光路激光损伤测试仪的要求,需要解决测试仪中滤光片的设计和制备问题。本文研究了单层膜的抗激光损伤能力和制备工艺,对膜料进行了