高精度小口径非球面加工工艺研究

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光学非球面镜是在通常的球面镜上增加了高次曲率,具有球面镜无法比拟的诸多优点,它的应用使光学系统具有出色的锐度和更高的分辨率。因此,无论在军用和民用方面都得到了广泛的应用。本课题是以ΦD6mm的石英玻璃透镜为研究对象,目的是研究出一种针对高精度小口径非球面的加工工艺。实验是以Preston理论作为基础,将数控光学表面成形技术(CCOS)和传统加工技术结合,对实验透镜进行数控磨削、数控抛光、传统手工修抛等工序,并对加工过程中的各种误差进行分析并予以修正,面形精度达到0.28gm,表面光洁度满足国家Ⅲ级等技术要求。这种加工工艺具有加工效率高,面形精度大,重复性好等优点,可以进行小批量的生产加工。
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