伴随着航空、航天、电子、核能、刀具、精密仪器、精密模具等技术的高速发展，越来越多的新型材料在这些领域中得到广泛应用，在这材料中也包括了许多超硬、脆性、耐高温等材料。传统的加工方式很难对这些材料进行有效的加工。同时一些具有复杂形状的零件也在这些领域中使用，这也给传统的加工工艺也带来了巨大的挑战。因此，这样就需要寻找更适合的加工方法。而电火花加工正是其中比较适合的加工方法。虽然各国学者多年来一直电火花进行研究，但是对其基础理论的研究并没有取得实质性的进展，其加工机理因放电过程的复杂性与随机性无法达到突破性进展。有限元法是研究非线性问题的较为有效的工具。采用理论研究与实验研究相结合，对电火花放电过程中温度场与应力场分布进行仿真研究。通过对影响单脉冲放电对材料蚀除量与参数进行分析研究，建立了电火花放电过程中的物理模型，热学数学模型与合理的有限元模型划分网格，通过施加合适的边界条件，利用有限元软件ANSYS对其加工过程中的工具在电火花单脉冲放电作用下生成的温度场分布于热应力分布进行仿真，并进行了实际的加工实验研究。本文选取难加工材料镍基合金Inconel718作为研究对象，在实验中，依据电火花加工的主要机理为热现象的原则，在仿真得到的温度场分布的图形与数据，提取大于材料熔点区域作为理论熔池大小，在与之电火花加工机床上得到的在不同放电参数下生成的电蚀坑测量值做比较。通过分析数据可知，两者得到的数值较为接近。因此，利用有限元软件ANSYS得出的仿真结果与数据，不受条件的影响。可以用来更加深入的研究电火花加工机理，并且能够为日后的电火花实际加工作业与研究提供重要的参考价值，优化加工参数，提高生产效率，同时也能较为准确的获得熔池大小，预测加工表面的粗糙度与表面残余应力。