散斑干涉技术测量具有非接触,高精度和全场等优点,一直为人们所重视,尤其是被大量地应用于表面测量。并且随着电子技术、计算机技术、激光技术的发展促进了散斑计量技术的发展,使散斑计量技术向实时、高速度及自动化方向发展。在实际测量中,变形场的测量是用途非常广泛的一种测量方式,电子散斑干涉测量技术(ESPI)近二十年来已成为变形场测量的重要方法。散斑干涉测量利用条纹分析实现变形场的无损测量。若干种成熟的相位测量技术已应用于条纹分析中,大致分为时间相位测量法和空间相位测量法。实际测量环境大多不稳定或测量过程需动态进行,因此位移场的动态测量更具有实用价值。本文就电子散斑干涉测量变形场的理论与方法进行了研究和讨论,主要内容是:1.系统介绍了散斑的成因、产生方法及相关概念,回顾了散斑干涉计量的发展历程。2.介绍了光学粗糙表面散斑光场的统计特性,说明了电子散斑干涉测量的理论、原理和特点。变形前后的散斑图,通过散斑相减处理得到变形条纹,讨论了散斑场相减的统计特性。3.讨论了各种位相测量方法和三维空间相移电子散斑干涉仪的原理,对设计的三维载频位移干涉系统开发了配套的软件系统,并使用该系统对三维变形的柴油机油泵模型进行了典型实验,得到了理想的结果。针对实际中存在的对称变形提出光路更简单的单光束检测技术原理,并进行了典型实验,予以验证。