现代机械制造工艺对机械加工过程中的表面粗糙度测量的要求日益苛刻，尤其是自动化测量机床，需要一套测量表面粗糙度的自动化测量系统，这套系统能够对待侧表面合格值给予提示，测量数据要实时保存，测量中不能受震动的影响。非接触测量法极大的满足了上述的要求，与其他非接触测量表面粗糙度参数方法比较，散射理论测量表面粗糙度方法具有操作方便、结构简单、易于在线监测等优点，根据以上的要求本文做了以下工作：　　 硬件方向：设计了两种探头方案，梯形框架和半圆形框架。探头采用了7根光纤同心圆性排列方式，末端采用准直器原理组成了直径为0.375mm的探头，测量中通过改变入射光的入射角度值，得出了较精准的测量表面粗糙度的入射角度信息值。当对不同的Ra值进行测量时，发现入射角度在某一角度时，能够保证接收到的功率信号经计算更接近表面粗糙度参数Ra值。　　 软件方向：基于Rs232的串行二进制数据交换接口，利用VB的MSComm和Timer控件实现了数据的定时采集，通过对实时性数据进行处理分析得出粗糙度重要特征参数值Ra和反映峰谷特性的参数Rz和Rq。并对测量数据进行了实时保存和历史保存，并用VB的Date Report控件实现数据报表的横向打印。　　 最后探讨了基于散射理论测量造成的主要影响因素，分析了影响因素的主要来源，并给出了建议方案，并着重分析了入射角度带来的影响。