论文部分内容阅读
光纤装配与光纤相位对准是MEMS光开关装配的重要工艺也是关键难点,传统的微夹钳可完成光纤夹持操作,但难以实现光纤相位对准操作。论文针对该问题,在分析光纤特点及其操作过程特性的基础上,提出了面向光纤相位对准操作的复合式微夹钳的方案,并对该复合式微夹钳的构型、力及行程特性、光纤拾取和搓动时的受力模型、控制方法等进行了分析与研究。论文主要包括以下内容:首先,针对光纤轻、细微、脆等不适于采用硬接触式夹持方法的特点,提出了采用真空吸附式方法对其进行柔性夹持操作;针对光纤相位对准操作,提出了采用压电陶瓷驱动的手