【摘 要】
:
目前我国同步辐射和X射线自由电子激光的建设成果显著,对高精度光学元件的需求量大大增加。而光学元件的表面质量和面形误差对光学系统整体的稳定性及传输波的波前质量是至关重要的,所以在加工制造亚纳米级精度的X射线反射镜时,对检测测量技术提出了极高的挑战。目前实现高精度平面光学元件面形测量的方法主要为干涉检测,此类干涉测量方法的精度主要受参考镜加工水平的限制,绝对检测方法能够去除参考镜的表面面形误差,实现超
【机 构】
:
中国科学院大学(中国科学院上海应用物理研究所)
【出 处】
:
中国科学院大学(中国科学院上海应用物理研究所)
论文部分内容阅读
目前我国同步辐射和X射线自由电子激光的建设成果显著,对高精度光学元件的需求量大大增加。而光学元件的表面质量和面形误差对光学系统整体的稳定性及传输波的波前质量是至关重要的,所以在加工制造亚纳米级精度的X射线反射镜时,对检测测量技术提出了极高的挑战。目前实现高精度平面光学元件面形测量的方法主要为干涉检测,此类干涉测量方法的精度主要受参考镜加工水平的限制,绝对检测方法能够去除参考镜的表面面形误差,实现超高精度光学元件的面形检测。但是X射线光学元件的长度可超过1m,而宽度仅为几厘米,且大部分为长条形平面反射镜,目前众多面形检测的方法都很难直接应用于X射线平面镜的高精度检测。为了实现X射线光学元件的高精度检测,我们针对X射线长条形反射镜的绝对检测技术展开深入研究,主要研究工作如下:首先,通过总结分析各种绝对检测方法的优缺点,发展了基于单次旋转法的矩形平面绝对检测方法,使其适用于X射线平面镜的绝对测量。本文采用四步组合相对干涉测量,将所得面形函数分解为对称项与非对称项,利用绕光轴单次旋转前后的测量数据求出非对称项进而消除,通过计算最终可得矩形平面的绝对表面面形。详细推导了矩形平面绝对检测方法的理论公式,并对其进行仿真分析,结果表明矩形平面面形误差与初始面形的RMS值为1.651×10-4λ(λ=632.8nm),验证了该方法的有效性。其次,在综合考虑各方面因素后对可能存在的误差进行了仿真分析,重点研究了角度旋转和平面面形精度对测量误差的影响,结果表明平面B面形精度越高,其面形残差可以达到0.104nm。针对不同旋转角度对矩形平面绝对检测法精度的影响,通过理论和仿真分析得到了最优旋转角度90°,减少了旋转和测量次数,优化了测量流程。最后,利用该方法设计和实现了140mm×50mm的矩形平面镜绝对检测实验,同时对测量结果进行闭环自检验,实验结果显示,测量得到的矩形平面镜绝对面形与闭环自检所得面形中心线高度误差小于3.4×10-3λ(λ=632.8nm),平面C绝对面形与C1、C2绝对面形的面形残差RMS值均在10-3量级,检验结果符合较好,从而验证了矩形平面绝对检测方法的可行性,为同步辐射反射镜的绝对检测提供了重要参考,为高精度光学平面的面形检测提供了一种有效途径和方法。
其他文献
同步辐射X射线相较于常规X射线的诸多优越性,使得其成为了生物大分子晶体学迅速发展的重要推力。尽管同步辐射生物大分子已经发展的十分成熟,但随着生命科学领域的迅猛发展,海量的蛋白质结构的测定需要依靠同步辐射生物大分子晶体学的实验方法,用户对于生物大分子晶体学线站的需求日益增加。光束线状态决定的光束质量很大程度上影响着最终的实验结果,实验前的光束线配置优化是十分重要的。为了保证获得准确的实验结果和光束线
清水江流域因其“内地边疆”的地理位置、潜在的经济资源和苗侗民族聚居区的特征,在清中后期受到中央王朝的高度重视。随着雍正初年在清水江流域的“改土归流”“开辟苗疆”,而后的“苗疆再造”及其开发治理,使政治格局、社会秩序以及流域结构发生了重大变化。其中之一就是使依托“榔规”“款约”等习惯法维系的治理秩序在受到冲击情景下重构事像,即国家力量基于乡村自治组织于国家政权认同的作用而渐次“渗透”于乡村治理之中,
在中俄关系持续升温的国际社会背景下,“一带一路”这一中国倡议在俄罗斯的发展成为一个极有意义的话题。在国与国的合作之间,媒体在这个过程中可以很好地充当调节器和放大镜。从媒体的报道中可以看出俄罗斯对于“一带一路”议题的认知与态度。文章研究了中国“一带一路”倡议在俄罗斯主流报纸:《消息报》中的呈现情况。《消息报》作为俄罗斯最具权威性和代表性的媒体,对于“一带一路”这一事件有着比较准确的分析和解读,能较为
本文主要以清代贵州盐商为研究对象,从盐商与政府的关系、区域分布、社会文教与公益事业等方面为视角,展开清代贵州盐商兴衰始落的研究,进而探讨盐商对贵州社会的影响。在具体论述中采取整体与个案相结合的原则,既有对清代贵州区域性盐商整体特征的概括,也有对代表性盐商家族个案的具体分析。研究认为,贵州盐商群体的形成除有利的社会生态环境外,还得益于国家政策支持与和谐的政商关系,贵州盐商对政府有着很强的依附性,发展
熔盐堆是国际上重点发展的第四代核能系统之一,包含固态燃料熔盐堆和液态燃料熔盐堆两种类型。其中固态燃料氯盐冷却堆使用的氯盐冷却剂具有高热膨胀系数、低粘度系数、中子经济性高等特性。结合上述特性和现有氯盐快堆的基础提出了小型自然循环氯盐冷却快堆(Small Natural Circulation Chloride Cooled Fast Reactor,SN3CFR)的设计,该堆型集熔盐堆、自然循环反应
历史上,贵州产盐鲜少,长期以来严重影响了各族居民的正常生活。因此,为解决贵州缺盐问题,中央王朝及民国政府实施了一系列榷盐制度。其中,清至民国时期川盐入黔对解决贵州缺盐问题,乃至促进盐道沿线地区社会经济发展产生了深远影响,也留下了丰富的文献,梳理这些文献,对于了解西南经济史、民族关系史,以及中央王朝、民国政府对贵州的经营有着积极意义,为深入这一题域,本文拟从以下六个部分展开论述之:绪论重点介绍了本文
质子治疗作为新型的肿瘤放射治疗手段,与光子治疗相比,拥有深度剂量分布在射程末端形成剂量峰值区布拉格峰的优势,在赋予肿瘤靶区充分剂量的同时,可以减少对周围健康组织产生不必要的剂量,从而降低副作用,提高患者接受治疗后的生活质量。质子治疗系统主要由两部分组成:1、用于产生质子并把它加速到足够高能量的加速器;2、根据治疗计划输出的照射参数对病人实施治疗照射的照射系统。上海先进质子治疗示范装置的加速器系统采
在漫长的历史长河中,彩绘文物伴随着人类历史一直在进步发展,彩绘图案反映着当时社会的审美、人们对自然的认知以及工匠们的精湛技术。高强度、高亮度的同步辐射光是文物考古科学研究的强大工具,但同步辐射光对珍贵文物的辐照损伤在一定程度又阻碍了其应用研究。彩绘颜料通常由无机矿物颜料和有机胶粘剂混合而成。无机矿物颜料性能相对比较稳定,相比而言,有机胶粘剂更易受到高强度的同步辐射光的辐照损伤而产生可见的宏观颜色变
随着计算工具、存储技术的不断更新和加速发展,多样的数据采集和存储手段让越来越多的函数型数据出现在我们的视野中,其具有的丰富数据信息以及函数性特征使得这类数据受到了广泛的关注。在函数型数据分析中,回归分析是一种常见的分析方法。对函数型数据进行回归分析时,往往使用大量基函数对函数型数据进行降维处理,这可能会导致过拟合和计算量过大的问题。同时,基于指数平方损失函数的稳健估计方法能够有效抵抗尖峰厚尾和异常
太阳能作为一种安全、清洁的能源是全球各国的研发重点,尤其是光伏实现了跃升式的发展,各种新型光伏电池的光电转换效率不断有新的突破。十数年来,有机无机杂化钙钛矿材料作为一种有更高的光吸收系数、较长的载流子扩散距离、带隙可以优化等优异光电性质的新型半导体材料,受到研究学者的重点关注。尽管科学家们不断探索高效率的钙钛矿太阳能电池并取得显著进展,目前仍存在许多科学问题未研究透彻,比如高质量钙钛矿薄膜的生长机