磁控溅射作为一种重要的表面改性技术得到了广泛关注。其中,由于溅射工艺所需的电源性能对工艺效果起着至关重要的作用,研究高性能磁控溅射电源对满足工业需求和对工艺的进一步提升有着重要的意义。本文对一台自主研制的磁控溅射电源的核心部分—有限双极性ZVZCS PWM DC/DC变换器进行了研究。本文针对研制高性能磁控溅射电源的相关技术展开研究。在对比分析不同控制方式的基础上,对有限双极性ZVZCS PWM DC/DC变换器的工作原理进行了详细的分析,并对变换器的几个特性进行了论述,推导了实现宽负载变化范围内超前桥臂开关管零电压开通和滞后桥臂开关管零电流关断的公式；根据工艺技术指标,完成了主电路和控制电路等相关参数的计算和电路设计。在理论分析和参数设计的基础上,进行了恒流控制系统及主电路的仿真分析,并完成了1kW样机的搭建,实验结果表明,样机能在宽负载变化范围内实现超前桥臂开关管的零电压开通和滞后桥臂开关管的零电流关断。样机运行良好,性能稳定,能较好的满足实际工艺的需要。