【摘 要】
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目前国外已经开始生产0402型片阻，而国产激光调阻机尚不能满足其调阻要求，原因之一就是其运动控制系统还有差距。本论文就是针对这一需求而开展的其运动控制系统的设计及研究。
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目前国外已经开始生产0402型片阻，而国产激光调阻机尚不能满足其调阻要求，原因之一就是其运动控制系统还有差距。本论文就是针对这一需求而开展的其运动控制系统的设计及研究。 本文阐述了Parker-6K6多任务实时控制器按照事件驱动响应方式，控制直线电机、交流伺服电机和四个步进电机的速度和定位精度；通过接口模块对各电磁阀进行开关量控制，对多种传感器进行监测。设计了高可靠性的硬件接口电路，进行了软件的开发与优化。 结果表明，该运动控制系统很好地实现了对激光调阻机高精度(调阻误差为±0.1％)和超高速度(调阻速率为55只/秒)的要求。
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