旋转对称磁透镜几何像差的符号计算及球差系数的高精度数值计算

来源 :云南大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Morakot
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
电子显微镜是研究微观物质结构的重要工具,在集成电路、纳米技术、材料科学、生命科学、医学等发挥重要作用。Scherzer早指出,旋转对称、无空间电荷的静电磁透镜具有正的球差和色差系数,它们极大地影响透镜系统的分辨率。现代高分辨电子显微镜由于配备了球差校正器,可显著地提高电镜的分辨率,但目前的球差校正器只能校正物镜的三级球差。随着技术的发展与国民生产中相关领域对更高分辨电子显微镜的需求,研究讨论物镜更高级几何像差是必要的。本文从以下几个方面讨论旋转对称磁透镜的几何像差理论。   首先,借助Maple11的符号计算功能推导圆对称磁透镜三至九级几何像差及其系数的表达式。基于最小作用量原理,利用电子光学折射率推导电子轨迹方程,该轨迹方程表现为二阶非齐次非线性微分方程组。本文利用Maple11的符号计算功能较方便地对该方程组逐级展开,避免了传统手工推导方法繁琐而又容易出错的缺点。所得九级几何像差及像差系数的表达式与已发表的结果一致。   其次,计算三到九级球差系数的高精度数值解。由于采用了优化网格方案和高效率的数值计算算法,数值结果精度更高。本文解决了三个方面的问题。1、利用变步长龙贝格积分法计算轴上磁场及其各阶导数的高精度数值解,磁场的相对精度为10-10。2、结合四阶龙格一库塔法,构造微分方程定解问题的连分式算法,计算电子运动高斯轨迹的高精度数值解,轨迹的相对精度为10-8。3、构造球差系数积分公式的连分式算法,计算各级球差系数的高精度数值解,其精度可达10-4。其中球差系数的数值结果与已发表的结果保持很好的一致性。   最后,对比连分式算法与非连分式算法的计算效率,结果表明连分式算法的计算效率比非连分式算法高一倍以上。连分式算法的快速收敛特性使得数值计算结果具有更高精度。分析球差系数随参数k2和S/D变化的三维曲面图,指出适当增大k2和S/D的值有利于提高电镜分辨率。通过分析各级球差对电镜分辨率的影响,指出七级、九级球差的影响相对不大,从而三级、五级球差是校正的重点。
其他文献
本文通过对荣华二采区10
期刊
牛病毒性腹泻病毒(Bovine viral diarrhea virus,BVDV)是一种重要的偶蹄类动物病毒,能在牛群中引发严重的传染,导致全球畜牧业的重大损失。根据BVDV细胞病变效应,BVDV可进一步分
系统级封装(System-in-Package SiP, System-on-Package SoP)技术中,电容的集成,即埋入电容是实现SoP的关键技术之一。这归因于埋入电容有更小的寄生电感和电阻,可以应用于高频高
近几十年来,随着新材料的大量应用、工艺的进步、集成化程度的大幅度提高,电子器件对静电日益敏感,从而导致电子产品遭受静电损害的几率也日益增大。单片微控制器是微型计算机的
趋化因子受体介导的信号通路,在细胞的分化、增殖和迁移中起着非常重要的作用。然而,这些趋化因子受体介导的信号传导在生理和病理情况下是如何调节的,目前还有很多未知的。在我
随着社会的快速发展,科技的不断进步,机器人在工业自动化领域中扮演的角色越来越重要,机器人的研究和运用也越来越广泛。机器人学科作为目前智能化控制的热点,它涉及的领域十分宽
天冬酰胺内肽酶(AEP)主要存在于溶酶体,参与溶酶体内容物的活化和降解,在细胞自噬过程中有重要作用。病理状态下,AEP表达上调、活化增加且能够移出溶酶体,与肿瘤、阿兹海默等多种
在光学镜头中引入光纤元件辅助校正场曲和畸变,可实现大视场的光学镜头设计,而结构却显得简单紧凑,将有着广泛的应用前景。文章从分析光纤传像元件的结构和图像传输特点出发,重点
随着微波技术的发展,用户剧增使微波频谱出现拥挤。而毫米波具有极宽带宽、波束窄、全天候工作、容易小型化的优点,从而促使了毫米波频率的利用。毫米波低噪声放大器是所有毫米
对一款8位MCU TLS5201的数字电路进行设计,该款MCU适用于电子消费类产品市场,如汽车电子产品、USB2.0的U盘控制设备及其它显示、监控设备(如温度计、多功能手表)等等。对8位MCU的