压电螺纹驱动器及其在微动台中应用的基础研究

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压电驱动器相比与传统的电磁电机具有能量密度高、响应时间短、抗电磁干扰、断电自锁、工作无噪音、结构简单、易于微型化等优点。压电驱动器由于具有上述诸多优点而被应用于各个领域,包括航天航空、医疗器械、精密加工、光学对焦等。而在精密定位系统中,压电直线驱动器具有不可替代的作用,其精度通常可达亚微米级别甚至纳米级别。另外,随着科技的发展和分工的细致化,越来越多的精密定位系统具有更为专业、苛刻的定位需求,例如定位速度快、输出力矩大、低转速下提供大力矩等要求,越来越多的压电驱动器为了满足要求而被不断开发出来。本论
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