首先,利用非平衡磁控溅射技术在钛合金表面制备了不同过渡层/类金刚石（Diamond-like carbon,DLC）薄膜,研究了过渡层对DLC薄膜结构和性能的影响。其次,利用等离子体化学气相沉积在钛合金表面制备了厚度高达50?m的掺Si多层超厚（Si_x-DLC/Si_y-DLC）_n薄膜（x,y表示含量,n表示层数）,研究了厚度对其结构、力学性能和摩擦学性能。最终,制备了约36?m超厚（Si_x-DLC/Si_y-DLC）_n/DLC薄膜,研究了固定厚度不同周期数（调制周期）与每一周期中Si掺杂DLC（Si_x-DLC和Si_y-DLC层）厚度比例（调制比例）对其力学及摩擦学特性的影响。主要结论如下:（1）单层过渡层（Cr,Si,Ti）不改变DLC薄膜的结构,其中Si过渡层DLC（Si/DLC）薄膜具有最低的内应力和最高的临界载荷;随着梯度过渡层（Cr/CrN,Cr/CrN/CrNC）的引入,DLC薄膜的sp²键含量逐渐增加,内应力逐渐降低,结合力逐渐增加,Cr/CrN/CrNC/DLC薄膜具有最低的摩擦系数和磨损率,分别为0.07⁰.10和1.89±0.15×10^-7mm³/（N·m）。（2）（Si_x-DLC/Si_y-DLC）_n薄膜厚度对其结构和硬度无明显影响,但随着薄膜厚度的增加,薄膜内应力逐渐减小;厚度为35.43±3.32?m的（Si_x-DLC/Si_y-DLC）_n薄膜具有最低的摩擦系数（约0.05）以及最低的磨损率(1.15±0.63×10^-7mm³/N·m);相同厚度（Si_x-DLC/Si_y-DLC）_n薄膜的磨损率随载荷增加先下降后上升。（3）对比（Si_x-DLC/Si_y-DLC）_n和（Si_x-DLC/Si_y-DLC）_n/DLC多层薄膜,（Si_x-DLC/Si_y-DLC）_n/DLC的摩擦系数升高,但磨损率显著下降,最低磨损率为0.57±0.26×10^-7mm³/N·m。对于36?m超厚（Si_x-DLC/Si_y-DLC）_n/DLC薄膜,调制周期对（Si_x-DLC/Si_y-DLC）_n/DLC薄膜结构无明显影响,但调制周期显著影响其力学性能。随调制周期的增加,薄膜内应力逐渐下降,硬度逐渐下降,临界载荷逐渐升高,最高达60.3±1.7N。调制比例同样对（Si_x-DLC/Si_y-DLC）_n/DLC薄膜力学性能有显著影响。随着调制比例的增加,Si_x-DLC层占比增加,薄膜内应力渐降低,结合力升高,硬度逐渐降低。