电化学蚀刻技术被广泛应用在航空、航天、核能等领域，主要对难加工材料制成的零部件进行表面蚀刻加工。受中国原子能科学研究院的委托，本课题成功研制出一整套电化学蚀刻机床及工艺装备。首先，分析了电化学蚀刻加工的工艺理论，选择了合理的机床总体方案，并对机床进行数控化改造。其次，利用ANSYS有限元软件对工具阴极进行了辅助性设计，确定了工具阴极的结构并进行优化。同时，设计了一套独特的工具阴极夹具及蚀刻工作箱并对电解液系统进行设计，完成了电解液槽的设计，电解液泵及温控仪的选型。最后，对机床进行了安装调试并进行电化学蚀刻加工试验。试验结果表明该套装备能够对发射极表面实现自动化蚀刻加工，机床结构稳定，运行平稳有序，工装系统耐蚀性强、安全高效，蚀刻加工后工件表层钨单晶发生选择性腐蚀,晶面取向一致且形貌好。电化学蚀刻加工技术为由难切削材料制成的薄壁长筒类零件表面加工提供一条崭新的途径。