【摘 要】
：
本课题基于40纳米技术平台进行研究,在此过程中,引入了前代工艺所没有的先进注入和退火等新型工艺,本文对这些相关工艺进行了研究。新型注入方面,简单介绍了共同注入、分子注入等,重点研究了低温注入。新型退火方面,重点讨论了闪光退火的使用要求。共同注入主要介绍了三种元素,锗、碳和氟,它们的主要作用是控制杂质的注入深度和扩散程度,改善可靠性。而分子注入在避免机台极限和改善器件性能方面有好处,但是物料成本太高
论文部分内容阅读
本课题基于40纳米技术平台进行研究,在此过程中,引入了前代工艺所没有的先进注入和退火等新型工艺,本文对这些相关工艺进行了研究。新型注入方面,简单介绍了共同注入、分子注入等,重点研究了低温注入。新型退火方面,重点讨论了闪光退火的使用要求。共同注入主要介绍了三种元素,锗、碳和氟,它们的主要作用是控制杂质的注入深度和扩散程度,改善可靠性。而分子注入在避免机台极限和改善器件性能方面有好处,但是物料成本太高,所以无法普及使用。低温注入能够减弱自退火效应,能够改变损伤的特性,形成更厚的非晶层及更清晰的非晶形层/晶体层界面,抑制末端射程损伤和杂质的瞬态增强扩散效应。低温注入能提升杂质激活率,对PMOS Ion-Ioff曲线带来3.2%的增益作用。适当顺序的尖峰退火和毫秒退火组合工艺,能够避免短沟道效应,有效减少杂质扩散。闪光退火的应用方面,Tjump-?Bow-CT Overlay三者之间存在联系,所以从Recipe的Tjump设定能推导判断CT Overlay的情况。一般而言Tjump在500℃以下时,?Bow形变量较小,CT Overlay比较安全。当顶峰温度Tpeak过低或过高时,N-Leak会变差。退火时间越长,N-Leak数量越低。最后,针对40nm使用超低能量二氟化硼注入带来的工艺监控稳定性方面的挑战,做了监控流程的实验设计和优化。发现在传统监控工艺的基础上,在注入之前生长一层约为5?左右厚度的氧化层,能在一定程度上抑制硼和氟原子的溢出,增加电阻监控结果的稳定性。
其他文献
YBa2Cu3O7-δ（YBCO）涂层导体具有优异的有场载流特性和力学性能,在电力、交通、军事、医疗等领域有广泛的应用前景。近年来,化学溶液法因无需真空设备、价格低廉、操作简单且能
硅藻是海洋中重要的单细胞植物,细胞壁富含硅质,对环境变化十分敏感,沉积物中的硅质藻类化石记录着年代际的古环境信息,是研究古环境变化的重要方法。目前对硅藻化石大尺度长期变化的研究在湖泊和大陆架海域虽已较为普遍,但关于我国近岸陆架区海域尤其是渤海海域的研究仍有不足。渤海作为一个深入我国大陆的内海,水域封闭性强,随着经济和工业的发展,近几十年来富营养化现象频发,在很大程度上影响了我国的海洋环境。在另一方
随着技术水平的提高,以及涡轮增压器的大规模应用,在2008年Honeywell公司首次提出把双面离心压气机应用于小型车用涡轮增压器。双面离心压气机具有流量范围宽,相对体积小,转动惯量小等优点,具有明确的应用前景。但受限于涡轮增压器的结构形式,两侧叶轮的进气条件存在很强的不对称性。目前,对这种非对称进气的双面离心压气机的内部流通特性并没有全面的认识,对其失速边界的拓宽方法也在研究之中,本文针对以上两
采用CMT焊接技术对已镀镍T2和Al1060进行焊接,研究镀镍层厚度对铜铝焊接接头组织及性能的影响规律。采用低磷碱性化学镀液对T2板进行表面镀镍,研究不同镀镍时间下镀层厚度变化规律。利用单因素控制变量法对CMT焊接工艺参数进行调整,并将在镀镍时间20min、30min、40min、50min、60min获得不同镀层厚度的试样采用同一焊接参数进行焊接,对接头的形貌及物相进行观察和分析,讨论镀镍层对接
随着经济的发展和社会的不断进步,能源消耗日益增加,能量回收装置广泛应用于反渗透海水淡化和合成氨工业的余压能回收、泵马达测试系统的功率回收、二次调节液压系统(液压变压器)等领域,目前大多核心技术为国外所垄断,自主研发显的尤为紧迫。本课题组创新性提出了一种能量回收型泵-马达集成装置用于能量回收系统,高压高速化的工况使得它是液压系统的振动源头之一,当发生共振时会导致其生命周期锐减,研究其振动特性分布对整
接入网的带宽需求将随着诸如高清晰度电视、在线游戏等高带宽需求多媒体业务的高速发展而急剧增加。光正交频分复用技术(OFDM)凭借其卓越的色散容忍能量、高频谱效率、灵活的
金融市场在飞速发展,人们越来越离不开金融市场,投资者希望通过金融市场获得回报,企业想要从金融市场融资来扩大生产,政府通过金融市场来促进经济平稳发展。然而金融危机却不断发生,随着各地区、各行业联系越来越紧密,金融危机影响将会越来越大。2008年金融危机,2010年到2012年的欧债危机,对金融市场产生了巨大的破坏力。人们越来越关注尾部相关性的度量。尾部相关性可能是由线性相关性引起的,可以用皮尔逊相关
用于处理废水处理过程中收到的市政污水污泥的技术有很多。由于城市污水污泥是大量产生的高有机负荷的废物,因此研究了使用蚯蚓降解和部分消化废污泥的生物学方法,例如蚯蚓堆肥。为了确定蚯蚓对城市污水污泥降解的影响和促进,通过从污泥中矿化氮、磷、钾等必需营养素,降低其对环境的风险,获得具有高农艺价值的稳定产品。众所周知,许多有机废物可以被蚯蚓摄取并被称为蚯蚓粪的泥炭状物质被消化,将病原体减少到安全水平(吞噬它
发酵蔬菜是利用蔬菜表面多种微生物共同作用所产生的一种发酵食品,在我国传承几千年,是日常餐桌上不可或缺的美食之一。但随着人们生活节奏的加快,日常自制发酵蔬菜已经很难满足人们日常需求,但我国发酵蔬菜的商业化水平并不高,很多发酵蔬菜产业依然延续着传统发酵工艺,而传统发酵工艺存在着发酵时间长,贮藏时间短,产品质量不稳定等诸多缺陷。选择优良微生物作为发酵剂是弥补这些缺陷的一种有效的技术手段,但我国对发酵蔬菜
维氏气单胞菌(Aeromonas veroni,A.veronii)是一种重要的人—兽—水生动物共患致病菌,研究显示近来毒力呈逐年上升趋势,已被越来越多的学者重视,但对于A.veronii毒力方面研究较少,对于毒力基因的研究有助于对A.veronii的致病机制的研究提供理论依据。对于rpoN基因的研究最早见于1985年,近年来有关rpoN的研究报道逐年增多,它能够控制多个功能基因的转录表达,包括氮