光伏电池是一类能够将光能转化电能并加以利用的重要光电器件。对光伏电池的研究主要在于如何提升其光电转换效率,更加高效地实现能量转换。而抗反射结构能够在较宽波段范围内降低光伏电池的反射率,有效提高电池入射的光能量比例,提升其光电转化效率。本论文围绕抗反射结构,针对基于多层膜系的抗反射结构和基于纳米柱阵列的抗反射结构分别进行了探讨,并提出相应的优化方案。通过模拟计算最终的电池性能,分析不同方案对光伏电池性能的影响。本文研究工作主要包含以下两个方面:1.基于多层膜系的抗反射结构,研究了基于ICP-PECVD的SiO₂低温制备工艺,开发了室温下渐变折射率的SiO₂薄膜制备工艺。基于该材料体系,提出了一种兼顾抗反射与封装要求的膜系结构。通过模拟计算应用不同抗反射膜系的钙钛矿光伏电池的反射率发现:相较于单一折射率的单层膜系,折射率渐变多层膜系的电池反射率在550nm⁸00nm波段内降低了1.5%,在550nm反射率最低达到0.5%。在可见光波段,通过仿真电池性能发现:相较于单一折射率膜系抗反的光伏电池,基于折射率渐变抗反射结构的光伏电池短路电流密度增加了1.98%,电池效率提升1.89%。2.基于纳米柱阵列的抗反射结构,研究了其抗反性能随阵列结构变化的情况。通过调节纳米柱高度,纳米柱阵列的最小反射波长可以实现从400nm到1000nm的连续调节。基于该特性,研究了不同高度、半径组合的硅基纳米柱阵列抗反机制以及对不同偏振光的反射特性。基于光谱叠加特性实现了宽光谱范围内的超低低反射率特性,通过仿真得到60nm与140nm高度组合的纳米柱阵列在400nm～800nm范围内的反射率低于7%。通过仿真得到不同组合结构的纳米柱结构在宽波谱范围内反射率整体低于5%。最后,基于AFORS-HET的模拟计算,研究了纳米柱抗反射结构实现的反射率改变对光伏电池性能的影响,发现组合纳米柱结构能够减少Si-PEDOT:PSS电池在可见光波段光损失,提升光电转化效率。