纳米传感技术在物理量检测方面已表现出优势。而在化学量、生物量检测方面,由于受到了材料、结构和工艺等方面的束缚,其专用性和灵活性不能很好地满足生物、化学领域迅猛发展的需求。同时,随着纳米材料制备和检测技术的进步,纳米技术在生物领域的应用日趋成熟。本文首先分析了表面增强拉曼光谱(SERS)与纳米传感技术相结合的原理与主要理论基础。通过对不同材料的基片进行表面改性处理,分析得出当HF酸腐蚀浓度为10-15%且蚀刻时间为约15分钟时,拉曼表面增强因子达到最大值并且表面形态处理获得最佳效果。其次,本文利用集成电路制造工艺中的光刻等工艺在硅片表面加工出沟壑结构,镀上一层金后形成了一种新型I-SERS基片,并将其与市场上的Q-SERS基片进行了对比测试分析。Q-SERS基片具有良好的单点拉曼活性和拉曼信号均匀性,而I-SERS基片在重复检测和稳定性有一定的优势。接着,本文总结了利用电子束曝光等工艺制备了一种新型纳米结构的E-SERS基片,其拉曼增强因子可达10~4以上,并分析了纳米结构的形状、大小、间距对于SERS性能的影响。当SERS基片图案的尺寸范围在50-300 nm时,随着尺寸减小,基片的SERS强度先降低后增强。最后,本文提出了对未来SERS基片制备建议,IC工艺中的精密光刻技术,结合纳米蚀刻与模板化纳米压印的优点,可以实现SERS基片的精确批量生产。