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柔性电子以其独有的柔韧性和延展性,适于卷到卷输送工艺的高效、低成本制造,已逐步应用在信息、能源、医疗等领域。复合工艺是大部分柔性电子产品制备过程的关键组成,在复合工艺中需完成多层柔性膜的位置精确对准。克服位置错配的复合对位误差是复合工艺的一大难点。本文针对多层柔性膜对位误差问题开展工艺与检测方案设计、机理分析、动力学建模和实验研究等工作,具体概述如下:首先,设计了柔性膜复合工艺和各参数检测方案。其中包括柔性膜张力、速度及对位误差等关键参数的检测方案,并选型了关键元器件。其次,分析了复合对位误差形成机理。以单层柔性膜在双对辊驱动进给为背景,推导了单层柔性膜标记点的位置误差模型,并详细分析了初始张力变化、辊偏心、初始速度变化等因素对位置误差的影响机理。然后,建立了复合对位误差的动力学模型。结合复合工艺流程,基于质量守恒分析,建立柔性膜在张力/速度共同作用下的复合对位误差模型,开展了MATLAB仿真分析,主要采用控制变量法对柔性膜初始张力、初始速度、抗拉刚度等各因素进行仿真分析。最后,实验验证了所提出的多层膜复合对位误差模型及规律。以实际柔性RFID标签连续复合设备为平台,逐步验证了所提出的柔性膜应变规律和多层膜复合对位误差模型等。同时提出误差补偿方案,离线测试表明该方案补偿效果良好,满足柔性RFID标签连续复合设备的工艺指标要求。本文研究所提出的多层膜复合对位误差动力学模型,已在柔性RFID标签连续复合设备上得到实际验证,可用于柔性膜复合工艺中对位误差的实时预测和精确补偿,具有较好的应用效果。