现今,人们对具有纳米级表面粗糙度和光洁度的平面和曲面零件的需求量急剧增加。随着科技水平的提升,工业中超精密抛光装备以及高精度产品质量的要求也迅速提升。一方面,传统的抛光方法已经难以达到新时代工业的精密要求,尤其是一些航空元件、光学元件,甚至是人工晶状体等对工件表面的质量要求很高。另一方面,医疗、军工、航天等高端制造领域越来越需要面型复杂的元件,纳米级的抛光要求和复杂的曲面面型让传统的抛光手段束手无策。因此,超精密的抛光方法受到越来越多的关注。电流变抛光作为一种非接触式的新型超精密的超效应抛光方法,其对工件表面的损伤很小,同时也适用于抛光各类面型复杂的曲面工件。在电流变抛光工艺中,施加电压后,电流变抛光液的流变性能和内部微观结构迅速发生改变,电流变液迅速由液体转为固体,其剪切屈服应力和表面粘度明显增大,电流变抛光工具的尖端可以形成用于抛光的柔性工具头。在关闭电源开关后,电流变液迅速恢复原状。本文详细的介绍了电流变抛光液的配置过程,并利用自制的设备验证了电流变液的有效性,分析了相关性能及演变规律。设计并制造了电流变抛光工具系统,搭建了电流变抛光实验平台。根据自制的电流变抛光工具头,对工具头和工件间的电场进行了理论推导和有限元仿真分析验证,得到了电场分布。建立了单磨料和双磨料的分子动力学模型,利用分子动力学的方法分析了材料去除的过程及演化规律。同时探讨了各因素对材料去除的影响,分析并获得了影响材料去除的特性及影响规律。结论表明施加电压是电流变抛光工艺中最重要的影响因素。根据Preston经验方程的要求,对抛光区域内的接触压强和相对线速度分布进行建模,以此基础上沿抛光轨迹积分,综合考虑了进给速度、工具轴转速、电场强度等因素,对电流变抛光工具的材料去除廓形进行理论推导。分别建立了沿直线和曲线的材料去除廓形,并确立了材料最优去除廓形时的工艺参数。最后予以实验验证,该模型具有良好的预测精度。通过实验分析研究了电流变抛光加工正交实验的方法,确定了影响电流变抛光效果的关键因素的顺序。以正交实验结果为依据,对各因素进行了单因素的影响实验,明确了各关键因素对表面粗糙度的影响。