随着光学事业的不断发展,紫外探测技术以其独特的优势逐渐走进人们的视野,并开始朝着全方位、高标准的方向发展,而滤光片作为紫外探测系统中重要的一环,发挥着至关重要的作用。为了满足紫外探测系统的使用需求,本课题研究了一种紫外滤光膜,该滤光膜能满足深紫外波段高反射,近紫外到可见光波段高透射的技术要求。基于光学薄膜设计理论,选取Al₂O₃、AlF₃作为高低折射率材料,在JGS1基底上完成了膜系设计。通过采用双面拆分法解决了单面膜层过厚的问题,通过实验对比验证了离子辅助沉积技术对薄膜材料在深紫外波段的影响,采用透射率轮廓法拟合了材料的光学常数,通过反复实验优化了沉积工艺参数,通过对实验测试结果和理论设计的对比分析,建立了膜层厚度与电子束蒸发特性的函数关系,借助膜系设计软件模拟了误差对光谱的影响。通过对工艺的改进有效提高了滤光膜的技术指标,最终制备的滤光膜在200²70nm波段平均反射率为77.96%,在290⁷00nm波段平均透射率为96.29%,满足探测系统使用需求。