热致变色材料二氧化钒（VO₂）因其在68℃具有可逆金属-绝缘转变（MIT）而备受关注。本文使用Sol-Gel法以及高真空退火处理工艺成功制备了二氧化钒薄膜以及W、Eu掺杂的二氧化钒薄膜,通过掺杂和高真空退火条件来优化二氧化钒薄膜的相变性质,降低二氧化钒薄膜的相变温度,改善其红外光调节能力。本文中,VO₂薄膜的具体的制备过程如下:首先将V₂O₅与草酸加入到异丁醇溶剂中,在80℃的水浴中反应6-10 h,最终得到蓝绿色的Sol-Gel前驱液,经旋涂得到预沉积的薄膜,接着在真空度¹0^-3 Pa,450℃⁵30℃的温度范围内退火4 h,得到纯VO₂薄膜。通过变温电阻（RT）和变温红外（IR）测试发现所得到的薄膜的转变温度远低于68℃,转变宽度在20℃左右,相变前后的红外调节能力达到45%以上。其次,在V₂O₅与草酸反应制备前驱液之前,加入过氧化氢与钨酸反应生成的透明溶液,得到含W的前驱液,经旋涂和高真空退火得到W掺杂的VO₂薄膜。测试结果表明,W掺杂可以有效降低样品的相变温度,相变前后电阻突变率和光学转变能力变差,但是将退火温度提高至500℃以后,薄膜的红外调节能力得到了明显的提升,达到40%以上。对样品的变温Raman光谱研究结果表明,W掺杂不会导致相变过程中M2相的产生。本文首次对W与Eu共掺杂的VO₂薄膜进行研究,结果表明Eu掺杂对VO₂薄膜相变温度影响较小,但是能够明显改善VO₂薄膜的在相变前后的红外调节能力,对于3%Eu与1%W掺杂的薄膜,在相变温度降低至43℃的同时,相变前后的红外调节能力达到了60%以上。说明低价的过渡元素掺杂对W掺杂引起的红外调制能力衰退有很好的改善作用。