盘结构电容式MEMS谐振器相关性能研究

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【摘要】

：

微机电系统(MEMS)由于具有体积小、集成度高以及与IC工艺兼容性好等优点,因而广泛应用于汽车导航、生物医学以及军事领域等。在众多MEMS器件中,电容式圆盘谐振器由于具有功耗低、谐振频率高、Q值高等优势,已逐步取代传统石英晶体基准并广泛应用于振荡器、滤波器等无线通信系统中。据此,本文对电容式圆盘谐振器进行了系统的研究。第1章阐述了研究的目的和意义。首先介绍了MEMS的基本系统组成、主要特点以及发展

【作者】

：

俞权

【机构】

：

杭州电子科技大学

【发表日期】

：

2015年03期

【关键词】

：

MEMS圆盘谐振器可靠性电气刚度 DRIE工艺静电调谐

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